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二维场效晶体管:逻辑制程未来技术

时间:2025-01-18 01:46:11

  在2024年底的IEDM主题演讲中,二维场效晶体管(2D FET)被提及为逻辑制程的未来技术。与传统硅半导体不同,2D FET使用二维材料作为通道材料,这被视为半导体产业的一次本质颠覆。

  2D FET的通道由单层原分子构成,通过施加电压控制其导电性。然而,这种新技术面临着短道效应(SCE)等挑战。

  随着制程微缩,通道长度变短,源极和汲极的电性开始影响通道性能,导致FET失去控制,产生漏电等问题。

  为解决这些问题,业界采取了多种方法,包括轻掺杂汲极、栅氧化层厚度改进、应力通道等传统手段。然而,随着制程进一步微缩,这些问题变得更加严峻。

  因此,业界开始探索新材料和新结构,如金属氮化钛、高介电质材料以及FinFET、GAA nanosheet和CFET等新型FET结构。

  这些新技术虽然仍属于more Moore范畴,但其创造经济价值的方式已与传统微缩手段不同。它们利用新材料、新元件架构和新物理机制来提升FET的效能、功耗和面积表现,开启了半导体研发竞争的新篇章。

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