鼎龙股份ArF及KrF光刻胶获晶圆厂订单

时间：2024-12-10 18:55:02

　　国产半导体材料厂商鼎龙股份在12月9日晚间宣布，其旗下的某款浸没式ArF晶圆光刻胶及某款KrF晶圆光刻胶产品已经成功通过客户验证，并收到了两家国内主流晶圆厂客户的订单，合计采购金额超过百万元人民币。

　　作为各类核心“卡脖子”进口替代类创新材料的平台型公司，鼎龙股份已经布局了20余款高端晶圆光刻胶，均为客户主动委托开发的型号。其中，多款在国内还未实现突破，但鼎龙股份已经成功推出了两款产品，并获得了采购订单，另外八款产品也处于客户测试阶段，整体测试进展顺利。

　　鼎龙股份在光刻胶领域的成功，离不开其在有机合成、高分子合成、OLED面板光刻胶和半导体先进封装光刻胶等领域的深厚积累。公司利用技术优势，针对KrF、ArF光刻胶的技术要求，设计出了单体结构、树脂结构、配方等，提高了纯化、过滤、混配等工艺等级，成功开发出KrF、ArF光刻胶专用树脂及其高纯度单体、光致产酸剂等关键材料以及光刻胶产品。

　　在产能建设方面，鼎龙股份的潜江一期年产30吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶产线已经具备批量化生产及供货能力，能够满足客户端现阶段的订单需求。而二期年产300吨KrF/ArF高端晶圆光刻胶量产线建设也在按计划顺利推进中。

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