据报道,晶洲长三角TGV玻璃基板半导体工艺装备研发及产业化项目和玻璃基板PVD镀膜设备研发及生产项目正式签约落户南浔。这两大项目的成功签约,标志着南浔区在半导体设备进口替代化方面迈出了重要一步。
苏州晶洲装备科技有限公司是国内唯一具备大尺寸整线湿法供应能力的先进制造企业。此次签约的TGV玻璃基板半导体工艺装备项目总投资达12亿元,投产后将具备年产150套TGV玻璃基板半导体工艺装备的能力。该项目的落地,将有力推动国内半导体设备的进口替代化进程,提升我国在高端半导体设备领域的自主创新能力。
与此同时,安徽越好电子装备有限公司也与南浔区达成合作。该公司是一家专注于半导体器件、真空泵、新材料等专用设备制造的先进制造企业。此次签约的玻璃基板PVD镀膜设备研发及生产项目总投资3亿元,将建立集研发和生产为一体的基地。该项目的实施将进一步完善南浔区的半导体产业链,提升区域产业竞争力。
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