据韩媒《首尔经济》援引业界人士消息,三星电子近期已开始投入1.0纳米制程技术的开发,并组建了专项团队,招募部分参与2纳米等先进制程的研发人员。这一技术被视为晶圆代工领域的“梦幻制程”,需要打破现有设计框架,并引入高数值孔径(High NA)极紫外光(EUV)微影设备。
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