据公开信息显示，2023年初，东方晶源发布了DR-SEM r600设备，该设备采用了3通道电子成像技术与全新设备平台，并在客户端完成了量产验证，为后续技术升级奠定了坚实基础。经过两年的技术迭代，东方晶源推出了全新一代DR-SEM r655产品，该设备搭载了高性能电子枪、光学检测模组以及升级版传片和算法系统，成功攻克了多项技术难题，能够满足国内先进制程产线的应用需求。
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