据公开信息显示,2023年初,东方晶源发布了DR-SEM r600设备,该设备采用了3通道电子成像技术与全新设备平台,并在客户端完成了量产验证,为后续技术升级奠定了坚实基础。经过两年的技术迭代,东方晶源推出了全新一代DR-SEM r655产品,该设备搭载了高性能电子枪、光学检测模组以及升级版传片和算法系统,成功攻克了多项技术难题,能够满足国内先进制程产线的应用需求。
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