韩国光阻剂材料企业Samyang NC Chem已成功量产极紫外光(EUV)光阻剂材料,并预计2025年开始量产供应晶圆代工厂适用的EUV光阻剂材料。
同时,该公司也在开发高带宽存储器(HBM)领域的凸块聚合物,并有望于2025年开始量产。
Samyang NC Chem自2008年成立以来,一直专注于半导体光阻剂材料的开发。该公司已能够自产光阻剂所需的聚合物和光酸产生剂(PAG),并向三星电子、SK海力士等公司供应产品。
EUV用光阻剂在7纳米以下的先进制程和第四代10纳米级DRAM领域的应用越来越广泛,Samyang NC Chem已开始为韩国存储器企业供应EUV光阻剂材料,并与海外合作伙伴共同开发晶圆代工厂适用的EUV光阻剂材料。
Samyang NC Chem的目标是到2030年将营收提升至3000亿韩元,并将氟化氩(ArF)、EUV产品比重提高到30%。
虽然目前各产品的工厂稼动率仅有45~64%,但业绩仍在持续改善。2023年该公司的营收为986亿韩元,而2024年前三季度的营业利益已达到80亿韩元,表现超越去年全年。
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