获政府支持，日本AIST加速构建先进半导体试产产线

　　日本政府支持的产业技术总合研究所（AIST）正加速建设先进半导体试产产线，以应对半导体在经济安全保障中的关键作用。

　　AIST于2023年10月成立了先进半导体研究中心（SFRC），旨在设立2纳米及以下半导体试产产线，供产业界与学术机构使用。

　　目前，SFRC已引进16台最先进设备，并整合至现有CMOS生产线，开始运行。研究人员正着手制造环绕式闸极场效晶体管（GAAFET），并进行整条生产线的最佳化，其中制造层结构需约300道制程。

　　SFRC主任指出，企业技术人员忙于应用研究与产品开发，缺乏深入理解制程科学现象的能力。然而，解析缺陷过程中常能发现新物理现象，掌握其原理可开辟新学理基础，解决这些问题或成为下一代半导体核心技术。

　　试产产线可供半导体材料与设备制造商验证技术，评估对整体制程的影响，扩展企业内部最佳化范围至整条产线。

　　AIST透过国家战略性投资成功建构吸引民间企业参与的研究环境，结合产业应用与学理探索。