SK海力士开发低功耗泵浦，助力半导体厂减排

SK海力士成功研发出一种新型低功耗泵浦，预计2025年正式投入运营中的厂房使用。该泵浦功耗降低了40%，旨在减少生产成本和二氧化碳排放。

　　SK海力士于2022年成立碳排放管理委员会，推动12项减排计划，目标在2050年实现零排放。此次低功耗泵浦的导入是其中一项计划，通过改进马达、材料、结构等技术实现。

　　SK海力士计划于2025年第一季度开始评估新型泵浦的导入，第三季度进行投资。若评估结果显示，蚀刻制程的泵浦容量从3万公升减少至2万公升，对半导体品质和良率无显著影响，将同时缩减泵浦容量。

　　新型泵浦在M14厂的主要制程中，功耗较现有泵浦减少了约39.7%。此外，SK海力士还尝试降低既有泵浦的转速以节省功耗，预计调降M15厂与M16厂的蚀刻制程泵浦转速后，可减少16.7%的功耗和碳排放。

　　泵浦在半导体制程中用于清除杂质，影响半导体品质和良率。半导体业者需大量电力驱动泵浦，其用电量约占整座厂房的15%。SK海力士的这一创新有助于减少功耗和碳排放，同时节省多项成本。