ASML 将于今年推出透光率超 90% 的 EUV 防护膜，提

时间：2021-05-15 15:36:42

　　外媒表示，此种防护膜主要用于安装在EUV光路和晶圆制造空间之间，用于防尘。此前的防护膜透光率仅有78%，然而一片的价格高达26000美元（约16.74万元人民币）。三星和台积电目前为了生产效率，没有使用这种防护膜，尽管这会提高晶圆表面被污染的风险。这两家代工厂此前表示，他们需要透光率超过90%的防护膜，才会考虑应用到生产线上。了解到，ASML宣布此款EUV防护膜能够承受400W的功率，将由日本厂商三井化学制造。

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