首芯半导体取得重要突破，交付首台12寸Dubhe系列PECVD设备

　　12月30日，首芯半导体成功交付首台12寸Dubhe系列等离子体增强型设备(PECVD)，用于无定形碳硬掩膜先进工艺，助力高端半导体制造。

　　此次交付标志着首芯半导体在高端半导体装备制造领域取得重要突破。

　　同时，配备自主研发的射频控制系统、传送平台及软件控制系统，可与客户EAP和MES系统整合，实现自动化高效生产。广泛应用于逻辑芯片、存储芯片等领域。

　　首芯半导体专注于半导体前道工艺设备的研发、制造和销售及技术服务，拥有核心自主知识产权。自成立一年以来，已申请多项专利和著作权，并应用于薄膜沉积设备研发及生产。

　　此外，公司在2024年获得多项荣誉，包括创新型中小企业、江苏省潜在独角兽企业等。