美光2月底宣布出货第六代DRAM样品,采用与三星、SK海力士不同的设计与制造方式。韩国业界认为,美光在EUV制程导入上较为保守,或将成为DRAM三巨头未来竞争的关键。
美光策略是最小化EUV使用,最大化利用既有ArFi设备,以加快量产速度。而三星、SK海力士则计划增加EUV导入层数。短期内,美光量产速度可能更快,但中长期来看,三大业者在芯片良率及生产效率上将有差异。
美光仅在部分制程中使用EUV,表示技术尚未完全稳定。三星则早在2020年导入EUV,预计1c DRAM将在5个层以上使用。SK海力士态度较谨慎,但在1c DRAM中也可能于5个层以上导入EUV。
韩国业界分析,美光长期依赖ArFi,可能导致制程步骤增加,拖累芯片良率。进入大规模量产时,拥有多年EUV经验的三星、SK海力士或将在良率与产量上具有优势。
三星拥有逾30台EUV设备,正针对EUV制程进行调整,并成立专门任务小组,聘请英特尔专家提升良率,优化EUV大规模量产体系。
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