上海微和荷兰AMSL光刻机差距,客观反映了我国和西方在精密制造领域的差距,一台顶级光刻机的关键零部件来自不同的西方发达国家,的光栅、德国的镜头、瑞典的轴承等等,而这些关键零部件对我国是禁运的。
上海微电子是一家系统集成商,自己不能生产所有的关键零部件,没有下游厂商的支持,所以很难生产高端的光刻机,只能先做好中低端,生存下去,一步一步培养国内零部件厂商,一点一点往上做。
目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰的ASML,占据了高达80%的市场份额。更关键的是,最先进的EUV光刻机,全球只有ASML能够生产。
除此之外,ASML光刻机的90%零件向外采购,整个设备同时获得了世界最先进的技术,从而在日新月异的芯片制造行业保持了绝对的竞争优势,把世界第二的尼康远远甩在了后面。
ASML有一个奇特的规定,只有投资了ASML,才能获得优先供货权。三星、英特尔、台积电、海力士都在ASML有客观的股份,大半个半导体行业都是AASML一家的合作伙伴,形成了庞大的利益共同体。
目前,我国最先进的光刻机生产厂商是上海微电子(SMEE)成立于2002年,最先进的光刻机SSA600/20系列的90nm制程工艺,面向中低端市场,成为国内很多低端芯片制造商的首选。
虽然,上海微电子在高端光刻机领域还未有所突破,不过从无到有,而且在低端光刻机领域占据了垄断地位,上海微电子是值得让人尊敬的。利用低端市场赚取的利润,支持高端市场的研发,也是一条可行的路线。
这里补充一下,我国的中芯国际在2018年曾成功预定一台ASML的7nm制程工艺的光刻机,但是先是因为ASML零部件厂商失火,后是因为许可证到期,这都2020年了,仍然没有到货。印证了那句话“自己有的才是真的,只有你突破了技术,就没有人能卡你的脖子”。
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