近日,南京埃米仪器科技有限公司(以下简称“埃米仪器”)宣布完成工商变更,新增上海万业企业股份有限公司等新股东。这一变动标志着公司在进一步推动精密3D量测设备国产化的过程中迈出了重要一步。
作为国内领先的精密量测设备研发企业,埃米仪器专注于攻克核心技术,持续推出创新性产品。其中,国内首台在线工业级原子力显微镜(AFM)的成功研发与交付,已经在国内顶尖的12英寸芯片制造企业得到了应用,为国内芯片制造工艺的发展提供了强有力的支持。这一技术突破不仅提升了芯片生产的良率,还大幅缩短了制程研发的周期。
在半导体行业,随着3D NAND、HBM、混合键合及先进封装技术的飞速发展,精密测量设备的需求日益增加。特别是在3D集成技术的应用中,AFM以其高精度和纳米级测量能力成为核心设备,对相关工艺的开发和监控至关重要。
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